Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (научный руководитель)
Zusammenfassung:	Защита сост. 19.10.2016 г.
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Томск, [Б. и.], 2016
Schlagworte:	Тонкопленочные покрытия магнетронное распыление оксид титана оксинитрид титана осаждение тонкие пленки применение ионно-плазменное напыление нанесение адсорбция нанокристаллические покрытия спектроскопия вторично-ионная масс-спектроскопия Оже-спектроскопия нанотвердость механические характеристики триботехнические свойства реактивное магнетронное распыление структуры авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=323876

Ähnliche Einträge