Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (727)
Summary:	Защита сост. 19.10.2016 г.
Published:	Томск, [Б. и.], 2016
Subjects:	магнетронное распыление оксид титана оксинитрид титана осаждение тонкие пленки применение ионно-плазменное напыление нанесение адсорбция нанокристаллические покрытия спектроскопия вторично-ионная масс-спектроскопия Оже-спектроскопия нанотвердость механические характеристики триботехнические свойства реактивное магнетронное распыление структуры авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=323876

Similar Items