Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07

Bibliografski detalji
Glavni autor: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Autor kompanije: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Daljnji autori: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич (научный руководитель)
Sažetak:Защита сост. 19.10.2016 г.
Jezik:ruski
Izdano: Томск, [Б. и.], 2016
Teme:
Format: Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=323876
Opis
Opis fizičkog objekta:25 с. ил.
Sažetak:Защита сост. 19.10.2016 г.