Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
| Glavni autor: | |
|---|---|
| Autor kompanije: | |
| Daljnji autori: | |
| Sažetak: | Защита сост. 19.10.2016 г. |
| Jezik: | ruski |
| Izdano: |
Томск, [Б. и.], 2016
|
| Teme: | |
| Format: | Knjiga |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=323876 |
| Opis fizičkog objekta: | 25 с. ил. |
|---|---|
| Sažetak: | Защита сост. 19.10.2016 г. |