Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Bibliografski detalji
Glavni autor: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Autor kompanije: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Daljnji autori: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Jezik:ruski
Izdano: Томск, [Б. и.], 2016
Teme:
Format: Knjiga
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322595