Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Published:	Томск, [Б. и.], 2016
Subjects:	оксидные покрытия осаждение дуальные магнетронные распылительные системы тонкие пленки оксид титана аморфный углерод функциональные характеристики диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322595

Similar Items