Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Weitere Verfasser:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Veröffentlicht:	Томск, [Б. и.], 2016
Schlagworte:	оксидные покрытия осаждение дуальные магнетронные распылительные системы тонкие пленки оксид титана аморфный углерод функциональные характеристики диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=322595

Beschreibung
Beschreibung:	134 л. ил.

Ähnliche Einträge