Структура компонентов БИС

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
مؤلف مشترك:	Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
مؤلفون آخرون:	Свиташев К. К. (340)
منشور في:	Новосибирск, Наука, 1980
الموضوعات:	кремний пленки кристаллизация нитрид кремния свойства синтез применение полупроводники дефекты электрофизические свойства структурный анализ
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=320329

الوصف
وصف مادي:	256 с. ил.

مواد مشابهة