Структура компонентов БИС

Структура компонентов БИС

Bibliographic Details
Main Author: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Corporate Author: Академия наук СССР (АН СССР) Сибирское отделение (СО) Институт физики полупроводников (ИФП)
Other Authors: Свиташев К. К. (340)
Published: Новосибирск, Наука, 1980
Subjects:
кремний
пленки
кристаллизация
нитрид кремния
свойства
синтез
применение
полупроводники
дефекты
электрофизические свойства
структурный анализ
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=320329

Similar Items