|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
318658 |
| 005 |
20250904114409.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\344156
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\344154
|
| 090 |
|
|
|a 318658
|
| 100 |
|
|
|a 20160429d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 01.04.07
|f Ю. Н. Юрьев
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. П. Кривобоков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2016
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (895 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочные покрытия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\75631
|9 87320
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид титана
|
| 610 |
1 |
|
|a аморфный углерод
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a модифицирующие покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a тлеющие разряды
|
| 610 |
1 |
|
|a электрические поля
|
| 610 |
1 |
|
|a магнитные поля
|
| 675 |
|
|
|a 621.793.1:539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.07
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Юрьев
|b Ю. Н.
|c специалист в области водородной энергетики
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник
|f 1984-
|g Юрий Николаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543
|9 14839
|
| 702 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|4 727
|9 9290
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161011
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
