Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Dades bibliogràfiques
Autor principal: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Autor corporatiu: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Altres autors: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (727)
Sumari:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Publicat: Томск, 2016
Matèries:
Accés en línia:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
Format: Electrònic Llibre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318658