Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
| Autor principal: | |
|---|---|
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | |
| Sumari: | Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации |
| Publicat: |
Томск, 2016
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560 |
| Format: | Electrònic Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318658 |