Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Diğer Yazarlar:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Özet:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	Томск, 2016
Konular:	Тонкопленочные покрытия авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ свойства тонкие пленки оксид титана аморфный углерод магнетронные системы магнетронные распылительные системы модифицирующие покрытия функциональные покрытия осаждение плазма магнетронные разряды тлеющие разряды электрические поля магнитные поля
Online Erişim:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/32560
Materyal Türü:	Elektronik Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318658

Internet