Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич & Кривобоков В. П. Валерий Павлович. (2016). Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07. Томск, 2016.
Dyfyniad Arddull ChicagoЮрьев Ю. Н. Юрий Николаевич and Кривобоков В. П. Валерий Павлович. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07. Томск, 2016, 2016.
Dyfyniad MLAЮрьев Ю. Н. Юрий Николаевич and Кривобоков В. П. Валерий Павлович. Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07. Томск, 2016, 2016.