Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, [Б. и.], 2015
Subjects:	диссертации электронный ресурс труды учёных ТПУ макрочастицы вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал смещение фракции плазма высокочастотные генераторы поверхности мишени
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30531
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318211

Internet