Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Autor Corporativo:	Томский политехнический университет
Otros Autores:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Sumario:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Томск, 2016
Materias:	Тонкопленочные покрытия диссертации электронный ресурс труды учёных ТПУ оксид титана углерод аморфный углерод магнетронные системы распылительные системы тонкие пленки магнетронные распылительные системы осаждение
Acceso en línea:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
Formato:	Electrónico Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318165

Internet