Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07

Библиографические подробности
Главный автор: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Автор-организация: Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Другие авторы: Кривобоков В. П. Валерий Павлович (научный руководитель)
Примечания:Заглавие с титульного экрана
Электронная версия печатной публикации
Язык:русский
Опубликовано: Томск, 2016
Предметы:
Online-ссылка:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/30546
Формат: Электронный ресурс Книга
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=318165