Nanolithography The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Nanolithography, The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Xehetasun bibliografikoak
Beste egile batzuk:	Feldman M. Martin (340)
Gaia:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Hizkuntza:	ingelesa
Argitaratua:	Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014
Gaiak:	электронный ресурс нанолитография наноэлектронные устройства нанофотоника нанофотонные устройства литография закон Мура
Sarrera elektronikoa:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=316236

Antzeko izenburuak

Наноэлектроника учебное пособие
nork: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)

Наноэлектроника: теория и практика учебник для вузов
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Integrated Nanophotonic Devices
nork: Zalevsky Z. Zeev
Argitaratua: (Amsterdam, Elsevier, 2010)

Microelectronics to Nanoelectronics: Materials, Devices & Manufacturability
Argitaratua: (New York, Taylor & Francis Group, 2013)

Наноэлектроника учебник для бакалавриата и магистратуры
nork: Щука А. А. Александр Александрович
Argitaratua: (Москва, Юрайт, 2019)

Nanoelectronics and Information Technology. Advanced Electronic Materials and Novel Devices
Argitaratua: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA, 2012)

Зондовые нанотехнологии в электронике
nork: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Argitaratua: (Москва, Техносфера, 2005)

Физические основы кремниевой наноэлектроники учебное пособие
nork: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Argitaratua: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность [учебное пособие]
nork: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Argitaratua: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)

Нанотехнология в электронике. Введение в специальность учебное пособие
nork: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Argitaratua: (СПб., Лань, 2008)

Наноэлектроника. Элементы, приборы, устройства учебное пособие
nork: Шишкин Г. Г. Геннадий Георгиевич
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам сборник статей
Argitaratua: (Москва, Техносфера, 2005)

Topical problems of electronics and nanoelectronics e-course
nork: Kornev Ya. I. Yakov Ivanovich
Argitaratua: (Томск, TPU Moodle, 2016)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии курс лекций
nork: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Argitaratua: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Наноэлектроника учебное пособие
nork: Щука А. А. Александр Александрович
Argitaratua: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)

Наноструктуры в электронике и фотонике пер. с англ.
Argitaratua: (Москва, Техносфера, 2010)

Ч. 2
Argitaratua: (2019)

Основы нано- и функциональной электроники учебное пособие
nork: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Argitaratua: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники электронный курс
nork: Бориков В. Н. Валерий Николаевич
Argitaratua: (Томск, TPU Moodle, 2017)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Argitaratua: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Ч. 1
Argitaratua: (2016)

Наноматериаловедение
nork: Витязь П. А.
Argitaratua: (Минск, Вышэйшая школа, 2015)

Наноэлектроника учебное пособие
nork: Игнатов А. Н. Александр Николаевич
Argitaratua: (Москва, Инфра-Инженерия, 2026)

Диэлектрики в наноэлектронике
Argitaratua: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2010)

Ч. 2
Argitaratua: (2016)

Основы наноэлектроники учебное пособие
nork: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Argitaratua: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2004)

Ч. 1
Argitaratua: (2019)

Зондовые нанотехнологии в электронике учебное пособие для вузов
nork: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Argitaratua: (Москва, Техносфера, 2006)

Основы наноэлектроники учебное пособие для вузов
nork: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Argitaratua: (Москва, Логос, 2006)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы лабораторный практикум
Argitaratua: (Москва, Учеба, 2007)

Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие
nork: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Argitaratua: (Москва, Техносфера, 2007)

Физические основы микро- и наноэлектроники учебное пособие для вузов
nork: Парфенова Е. Л. Елена Леонидовна
Argitaratua: (Ростов-на-Дону, Феникс, 2012)

Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники учебное пособие для вузов
nork: Барыбин А. А. Анатолий Андреевич
Argitaratua: (Москва, Физматлит, 2011)

[Вып. 2]
Argitaratua: (2013)

Ч. 1: Введение в наноэлектронику
Argitaratua: (2009)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
nork: Сергеев В. А.
Argitaratua: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Микросхемотехника и наноэлектроника учебное пособие
nork: Игнатов А. Н. Александр Николаевич
Argitaratua: (СПб., Лань, 2011)

Оптоэлектроника и нанофотоника учебное пособие для вузов
nork: Игнатов А. Н. Александр Николаевич
Argitaratua: (СПб., Лань, 2011)

Nanophotonics and Nanomaterials German-Russian Forum, 16-17 September 2010, Tomsk Program and Abstracts
Argitaratua: (Tomsk, Publishing House TPU, 2010)