Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Bibliografiske detaljer
Andre forfattere:	Feldman M. Martin (редактор)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprog:	engelsk
Udgivet:	Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014
Fag:	Наноэлектроника электронный ресурс нанолитография наноэлектронные устройства нанофотоника нанофотонные устройства литография закон Мура
Online adgang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
Format:	Electronisk Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=316236

Lignende værker

Integrated Nanophotonic Devices
af: Zalevsky Z. Zeev
Udgivet: (Amsterdam, Elsevier, 2010)

Microelectronics to Nanoelectronics: Materials, Devices & Manufacturability
Udgivet: (New York, Taylor & Francis Group, 2013)

Наноэлектроника: учебное пособие
af: Борисенко В. Е. Виктор Евгеньевич
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2009)

Наноэлектроника: теория и практика: учебник для вузов
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Nanoelectronics and Information Technology. Advanced Electronic Materials and Novel Devices
Udgivet: (Weinheim, Wiley-VCH Verlag GmbH &Co. KGaA, 2012)

Наноэлектроника: учебник для бакалавриата и магистратуры
af: Щука А. А. Александр Александрович
Udgivet: (Москва, Юрайт, 2019)

Зондовые нанотехнологии в электронике
af: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2005)

Topical problems of electronics and nanoelectronics: e-course
af: Kornev Ya. I. Yakov Ivanovich
Udgivet: (Томск, TPU Moodle, 2016)

Физические основы кремниевой наноэлектроники: учебное пособие
af: Зебрев Г. И. Геннадий Иванович
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Методы нанолитографии. Достижения и перспективы
Udgivet: (Ростов-на-Дону, Терра-Принт, 2008)

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность: [учебное пособие]
af: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)

Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: учебное пособие
af: Лозовский В. Н. Владимир Николаевич
Udgivet: (СПб., Лань, 2008)

Наноэлектроника. Элементы, приборы, устройства: учебное пособие
af: Шишкин Г. Г. Геннадий Георгиевич
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011)

Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам: сборник статей
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2005)

Наноэлектроника: учебное пособие
af: Щука А. А. Александр Александрович
Udgivet: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012)

Элионная технология в микро- и наноиндустрии: курс лекций
af: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Udgivet: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Наноэлектроника: учебное пособие
af: Игнатов А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (Москва, Инфра-Инженерия, 2026)

Наноструктуры в электронике и фотонике: пер. с англ.
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2010)

Наноматериаловедение
af: Витязь П. А.
Udgivet: (Минск, Вышэйшая школа, 2015)

Ч. 2; Наноэлектроника
Udgivet: (2019)

Основы нано- и функциональной электроники: учебное пособие
af: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Udgivet: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Ч. 1; Наноэлектроника и схемотехника
Udgivet: (2016)

Технология материалов микро- и наноэлектроники
Udgivet: (Москва, Изд-во МИСиС, 2007)

Ч. 2; Наноэлектроника и схемотехника
Udgivet: (2016)

Диэлектрики в наноэлектронике
Udgivet: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2010)

Актуальные проблемы современной электроники и наноэлектроники: электронный курс
af: Бориков В. Н. Валерий Николаевич
Udgivet: (Томск, TPU Moodle, 2017)

Основы наноэлектроники: учебное пособие
af: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Новосибирск, Изд-во НГТУ, 2004)

Зондовые нанотехнологии в электронике: учебное пособие для вузов
af: Неволин В. К. Владимир Кириллович
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2006)

Основы наноэлектроники: учебное пособие для вузов
af: Драгунов В. П. Валерий Павлович
Udgivet: (Москва, Логос, 2006)

Ч. 1; Наноэлектроника
Udgivet: (2019)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Udgivet: (Москва, Учеба, 2007)

Nanophotonics and Nanomaterials: German-Russian Forum, 16-17 September 2010, Tomsk; Program and Abstracts
Udgivet: (Tomsk, Publishing House TPU, 2010)

Nanotechnology and Nanoelectronics: Materials, Devices, Measurement Techniques
Udgivet: (New York, Springer, 2005)

Кремний - материал наноэлектроники: учебное пособие
af: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Udgivet: (Москва, Техносфера, 2007)

Элементы и устройства наноэлектроники учебное пособие
af: Сергеев В. А.
Udgivet: (Ульяновск, УлГТУ, 2016)

Физические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов
af: Парфенова Е. Л. Елена Леонидовна
Udgivet: (Ростов-на-Дону, Феникс, 2012)

[Вып. 2]; Нанотехнологии в электронике
Udgivet: (2013)

Физико-технологические основы макро-, микро- и наноэлектроники: учебное пособие для вузов
af: Барыбин А. А. Анатолий Андреевич
Udgivet: (Москва, Физматлит, 2011)

Микросхемотехника и наноэлектроника: учебное пособие
af: Игнатов А. Н. Александр Николаевич
Udgivet: (СПб., Лань, 2011)

Ч. 1: Введение в наноэлектронику; Наноэлектроника
Udgivet: (2009)