Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Feldman M. Martin (редактор)
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014
Schlagworte:	Наноэлектроника электронный ресурс нанолитография наноэлектронные устройства нанофотоника нанофотонные устройства литография закон Мура
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
Format:	Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=316236

Online