Nanolithography, The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

Bibliographic Details
Other Authors:	Feldman M. Martin (340)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Published:	Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014
Subjects:	электронный ресурс нанолитография наноэлектронные устройства нанофотоника нанофотонные устройства литография закон Мура
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=316236

Internet