Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems

书目详细资料
其他作者:	Feldman M. Martin (редактор)
总结:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
语言:	英语
出版:	Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014
主题:	Наноэлектроника электронный ресурс нанолитография наноэлектронные устройства нанофотоника нанофотонные устройства литография закон Мура
在线阅读:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
格式:	电子图书
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=316236

因特网