|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
316236 |
| 005 |
20231102002845.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\341674
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\341553
|
| 090 |
|
|
|a 316236
|
| 100 |
|
|
|a 20160316d2014 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a GB
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Nanolithography
|b Electronic resource
|e The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems
|f ed. M. Feldman
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 210 |
|
|
|a Oxford
|c Woodhead Publishing Limited
|d 2014
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 42 Mb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 333 |
|
|
|a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a нанолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a наноэлектронные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a нанофотоника
|
| 610 |
1 |
|
|a нанофотонные устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a закон Мура
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Feldman
|b M.
|g Martin
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131216
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160620
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Nanolithograhy%202014.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
