Feldman M. Martin. (2014). Nanolithography: The art of fabricating nanoelectronic and nanophotonic devices and systems. Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումFeldman M. Martin. Nanolithography: The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems. Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014, 2014.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումFeldman M. Martin. Nanolithography: The Art of Fabricating Nanoelectronic and Nanophotonic Devices and Systems. Oxford, Woodhead Publishing Limited, 2014, 2014.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.