|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
314916 |
| 005 |
20231102002727.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\340348
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\339330
|
| 090 |
|
|
|a 314916
|
| 100 |
|
|
|a 20160220d2010 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a NL
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 200 |
1 |
|
|a Developments in Surface Contamination and Cleaning
|b Electronic resource
|e Particle Deposition, Control and Removal
|f eds. Rajiv Kohli, K. L. Mittal
|v Vol. 2
|
| 203 |
|
|
|a Text
|c electronic
|
| 210 |
|
|
|a Amsterdam
|c Elsevier
|d 2010
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 11 Mb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 333 |
|
|
|a Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 606 |
1 |
|
|a Промышленная экология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\52249
|9 70735
|
| 606 |
1 |
|
|a Электроника промышленная
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\20336
|9 45445
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a разработки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностное загрязнение
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a загрязняющие вещества
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a загрязнения
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a удаление
|
| 675 |
|
|
|a 504.064
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.38
|v 3
|
| 702 |
|
0 |
|a Rajiv Kohli
|4 340
|
| 702 |
|
1 |
|a Mittal
|b K. L.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20131216
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160615
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Developments%20in%20Surface%20%20Contamination(2).pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
