Developments in Surface Contamination and Cleaning, Particle Deposition, Control and Removal

Bibliographic Details
Other Authors:	Rajiv Kohli (340), Mittal K. L.
Summary:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Published:	Amsterdam, Elsevier, 2010
Subjects:	электронный ресурс разработки поверхностное загрязнение очистка загрязняющие вещества поверхности загрязнения полупроводниковая электроника частицы удаление
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Developments%20in%20Surface%20%20Contamination(2).pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314916

Internet