Developments in Surface Contamination and Cleaning: Particle Deposition, Control and Removal

Bibliographische Detailangaben
Weitere Verfasser:	Rajiv Kohli (редактор), Mittal K. L.
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана Режим доступа: из корпоративной сети ТПУ
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Amsterdam, Elsevier, 2010
Schlagworte:	Промышленная экология Электроника промышленная электронный ресурс разработки поверхностное загрязнение очистка загрязняющие вещества поверхности загрязнения полупроводниковая электроника частицы удаление
Online-Zugang:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext2/m/2016/science_book/Developments%20in%20Surface%20%20Contamination(2).pdf
Format:	Elektronisch Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=314916

Online