Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20

Detalles Bibliográficos
Autor Principal:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Outros autores:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (научный руководитель)
Summary:	Защищена 22.12.2015 г.
Idioma:	ruso
Publicado:	Томск, [Б. и.], 2015
Subjects:	Электрический разряд в газах физика вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал смещения плазма макрочастицы мишени фильтрация ионно-плазменное осаждение покрытия ионно-плазменная обработка металлы имплантация вакуумно-дуговая плазма микрокапельная фракция диссертации труды учёных ТПУ
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=312978

Títulos similares