Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Summary:	Защищена 22.12.2015 г.
Published:	Томск, [Б. и.], 2015
Subjects:	физика вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал смещения плазма макрочастицы мишени фильтрация ионно-плазменное осаждение покрытия ионно-плазменная обработка металлы имплантация вакуумно-дуговая плазма микрокапельная фракция диссертации труды учёных ТПУ
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=312978

Similar Items