Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения, диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук

Bibliografiset tiedot
Päätekijä:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Yhteisötekijä:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Muut tekijät:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Yhteenveto:	Защищена 22.12.2015 г.
Julkaistu:	Томск, [Б. и.], 2015
Aiheet:	физика вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал смещения плазма макрочастицы мишени фильтрация ионно-плазменное осаждение покрытия ионно-плазменная обработка металлы имплантация вакуумно-дуговая плазма микрокапельная фракция диссертации труды учёных ТПУ
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=312978

Kuvaus
Ulkoasu:	132 л. ил.
Yhteenveto:	Защищена 22.12.2015 г.

Samankaltaisia teoksia