Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства: учебник для среднего профессионально-технического образования

书目详细资料
主要作者:	Моряков О. С. Олег Сергеевич
语言:	俄语
出版:	Москва, Высшая школа, 1981
版:	3-е изд., перераб. и доп.
丛编:	Профтехобразование
主题:	Полупроводниковые приборы > Производство > Оборудование полупроводниковые материалы газовые среды электронно-дырочные переходы изготовление термическое оборудование полупроводники легирование эпитаксиальные пленки наращивание фотолитография вакуумная техника корпуса герметичность механические испытания учебники
格式:	图书
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=308304

相似书籍