Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства, учебник для среднего профессионально-технического образования

Bibliographic Details
Main Author:	Моряков О. С. Олег Сергеевич
Published:	Москва, Высшая школа, 1981
Edition:	3-е изд., перераб. и доп.
Series:	Профтехобразование
Subjects:	полупроводниковые материалы газовые среды электронно-дырочные переходы изготовление термическое оборудование полупроводники легирование эпитаксиальные пленки наращивание фотолитография вакуумная техника корпуса герметичность механические испытания учебники
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=308304

Similar Items