|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
308304 |
| 005 |
20231102002100.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 81-78079
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\333613
|
| 090 |
|
|
|a 308304
|
| 100 |
|
|
|a 20151030d1981 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства
|e учебник для среднего профессионально-технического образования
|f О. С. Моряков
|
| 205 |
|
|
|a 3-е изд., перераб. и доп.
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 336 с.
|c ил.
|d 22 см.
|
| 225 |
1 |
|
|a Профтехобразование
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 334
|
| 606 |
1 |
|
|a Полупроводниковые приборы
|x Производство
|x Оборудование
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50694
|9 69345
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые среды
|
| 610 |
1 |
|
|a электронно-дырочные переходы
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a наращивание
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a корпуса
|
| 610 |
1 |
|
|a герметичность
|
| 610 |
1 |
|
|a механические испытания
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002.5(075.32)
|z rus
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Моряков
|b О. С.
|g Олег Сергеевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151030
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20171013
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
