Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения, автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Other Authors:	Рябчиков А. И. Александр Ильич (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, 2015
Subjects:	авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ физика вакуумные дуги импульсно-периодический потенциал мишени смещения плазма фильтрация ионно-плазменное осаждение покрытия ионно-плазменная обработка металлы имплантация вакуумно-дуговая плазма микрокапельная фракция
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2015/72.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=308232

Internet