• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Avanzata
  • Высокоразрешающая неорганическ...
  • Citazione
  • Invia SMS
  • Invia email
  • Stampa
  • Esporta il record
    • Esporta a RefWorks
    • Esporta a EndNoteWeb
    • Esporta a EndNote
  • PLink permanente
Высокоразрешающая неорганическая фотолитография

Высокоразрешающая неорганическая фотолитография

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Гранкин И. М. Илья Михайлович
Altri autori: Коломейко А. В. Анатолий Викторович, Погребняк В. П. Виталий Петрович
Lingua:russo
Pubblicazione: Киев, Вища школа, 1983
Serie:Ученые вузов - производству
Soggetti:
Фотолитография
резисты
защитные маски
пленки
фотоиндуцированные процессы
фотохимические реакции
слоистые фоторезисторы
плазмохимические методы
светочувствительность
Natura: MixedMaterials Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=307489
  • Posseduto
  • Descrizione
  • Documenti analoghi
  • MARC21

Documenti analoghi

  • Основы фотолитографии: учебное пособие
    di: Гудымович Е. Н. Елена Никифоровна
    Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)
  • Фото-, электроно- и рентгенорезисты
    di: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
    Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1982)
  • Ч. 1; Микролитография: принципы, методы, материалы
    Pubblicazione: (1990)
  • Светочувствительные полимерные материалы
    Pubblicazione: (Ленинград, Химия, 1985)
  • Фотолитография и оптика
    Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1974)