Высокоразрешающая неорганическая фотолитография

Bibliographic Details
Main Author:	Гранкин И. М. Илья Михайлович
Other Authors:	Коломейко А. В. Анатолий Викторович, Погребняк В. П. Виталий Петрович
Published:	Киев, Вища школа, 1983
Series:	Ученые вузов - производству
Subjects:	резисты защитные маски пленки фотоиндуцированные процессы фотохимические реакции слоистые фоторезисторы плазмохимические методы светочувствительность
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=307489

Similar Items