|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
307489 |
| 005 |
20231102002011.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-65509
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\332782
|
| 090 |
|
|
|a 307489
|
| 100 |
|
|
|a 20151021d1983 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a UA
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Высокоразрешающая неорганическая фотолитография
|f И. М. Гранкин, А. В. Коломейко, В. П. Погребняк
|
| 210 |
|
|
|a Киев
|c Вища школа
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 53 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Ученые вузов - производству
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 49-52
|
| 606 |
1 |
|
|a Фотолитография
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\64237
|9 81148
|
| 610 |
1 |
|
|a резисты
|
| 610 |
1 |
|
|a защитные маски
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a фотоиндуцированные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a фотохимические реакции
|
| 610 |
1 |
|
|a слоистые фоторезисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a плазмохимические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a светочувствительность
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Гранкин
|b И. М.
|g Илья Михайлович
|
| 701 |
|
1 |
|a Коломейко
|b А. В.
|g Анатолий Викторович
|
| 701 |
|
1 |
|a Погребняк
|b В. П.
|g Виталий Петрович
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151021
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180704
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
