APA (7th ed.) Citation

Гранкин И. М. Илья Михайлович, Коломейко А. В. Анатолий Викторович, & Погребняк В. П. Виталий Петрович. (1983). Высокоразрешающая неорганическая фотолитография. Киев, Вища школа, 1983.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Гранкин И. М. Илья Михайлович, Коломейко А. В. Анатолий Викторович, and Погребняк В. П. Виталий Петрович. Высокоразрешающая неорганическая фотолитография. Киев, Вища школа, 1983, 1983.

MLA (9th ed.) Citation

Гранкин И. М. Илья Михайлович, et al. Высокоразрешающая неорганическая фотолитография. Киев, Вища школа, 1983, 1983.