Технология прроизводства интегральных микросхем: учебное пособие для вузов

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Weitere Verfasser:	Васенков А. А. (редактор)
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Энергия, 1977
Schlagworte:	Интегральные микросхемы,программируемые логические учебные пособия производство технология параметры анализ методы вакуумное испарение конденсация осаждение химические методы адсорбция слои зарождение рост эпитаксиальные процессы ионное внедрение фотолитография подложки гибридные интегральные схемы тонкопленочные конденсаторы толстопленочная технология полупроводниковые микросхемы сборка
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306270

Ähnliche Einträge