Технология прроизводства интегральных микросхем, учебное пособие для вузов

Bibliographic Details
Main Author:	Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Other Authors:	Васенков А. А. (340)
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергия, 1977
Subjects:	учебные пособия производство технология параметры анализ методы вакуумное испарение конденсация осаждение химические методы адсорбция слои зарождение рост эпитаксиальные процессы ионное внедрение фотолитография подложки гибридные интегральные схемы тонкопленочные конденсаторы толстопленочная технология полупроводниковые микросхемы сборка
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306270

Similar Items