Технология прроизводства интегральных микросхем: учебное пособие для вузов

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Altres autors:	Васенков А. А. (редактор)
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Энергия, 1977
Matèries:	Интегральные микросхемы,программируемые логические учебные пособия производство технология параметры анализ методы вакуумное испарение конденсация осаждение химические методы адсорбция слои зарождение рост эпитаксиальные процессы ионное внедрение фотолитография подложки гибридные интегральные схемы тонкопленочные конденсаторы толстопленочная технология полупроводниковые микросхемы сборка
Format:	MixedMaterials Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306270

Ítems similars