Технология прроизводства интегральных микросхем, учебное пособие для вузов

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Черняев В. Н. Владимир Николаевич
مؤلفون آخرون:	Васенков А. А. (340)
اللغة:	الروسية
منشور في:	Москва, Энергия, 1977
الموضوعات:	учебные пособия производство технология параметры анализ методы вакуумное испарение конденсация осаждение химические методы адсорбция слои зарождение рост эпитаксиальные процессы ионное внедрение фотолитография подложки гибридные интегральные схемы тонкопленочные конденсаторы толстопленочная технология полупроводниковые микросхемы сборка
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306270

الوصف
وصف مادي:	375 с. ил.

مواد مشابهة