|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
306090 |
| 005 |
20231102001849.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\331367
|
| 090 |
|
|
|a 306090
|
| 100 |
|
|
|a 20151002d1980 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология производства микроэлектронных устройств
|e учебник
|f И. А. Малышева
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 446 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Для учащихся техникумов
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 437-438.
|
| 320 |
|
|
|a Предм. указ.: с. 439-441.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Производство
|x Метрологическое обеспечение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43813
|9 63255
|
| 610 |
1 |
|
|a производственные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a требования
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические пластины
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a очистка
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальные процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a высокотемпературная диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a металлизация
|
| 610 |
1 |
|
|a биполярные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a МДП-структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a толстопленочная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a сборка
|
| 610 |
1 |
|
|a герметизация
|
| 610 |
1 |
|
|a качество
|
| 610 |
1 |
|
|a учебники
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002(075.3)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Малышева
|b И. А.
|g Идея Александровна
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151002
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200306
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
