Технология производства микроэлектронных устройств, учебник

Bibliographic Details
Main Author:	Малышева И. А. Идея Александровна
Published:	Москва, Энергия, 1980
Series:	Для учащихся техникумов
Subjects:	производственные технологии микросхемы требования диэлектрические пластины химическая обработка очистка фотолитография тонкие пленки эпитаксиальные процессы высокотемпературная диффузия ионное легирование металлизация биполярные структуры МДП-структуры толстопленочная технология сборка герметизация качество учебники
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306090

Similar Items