Технология производства микроэлектронных устройств, учебник

Dades bibliogràfiques
Autor principal:	Малышева И. А. Идея Александровна
Publicat:	Москва, Энергия, 1980
Col·lecció:	Для учащихся техникумов
Matèries:	производственные технологии микросхемы требования диэлектрические пластины химическая обработка очистка фотолитография тонкие пленки эпитаксиальные процессы высокотемпературная диффузия ионное легирование металлизация биполярные структуры МДП-структуры толстопленочная технология сборка герметизация качество учебники
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306090

Descripció
Descripció física:	446 с. ил.

Ítems similars