Технология производства микроэлектронных устройств: учебник

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Малышева И. А. Идея Александровна
Idioma:	russo
Publicado em:	Москва, Энергия, 1980
Colecção:	Для учащихся техникумов
Assuntos:	Микроэлектроника > Производство > Метрологическое обеспечение производственные технологии микросхемы требования диэлектрические пластины химическая обработка очистка фотолитография тонкие пленки эпитаксиальные процессы высокотемпературная диффузия ионное легирование металлизация биполярные структуры МДП-структуры толстопленочная технология сборка герметизация качество учебники
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=306090

Descrição
Descrição Física:	446 с. ил.

Registos relacionados