Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Weitere Verfasser:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич (редактор)
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1981
Schlagworte:	Микроэлектроника > Производство > Метрологическое обеспечение электронная технология физические основы технологическое оборудование проектирование автоматизация роботы конвейерные системы узлы конструкции оптимизация математические модели робототехнические комплексы диффузионное оборудование эпитаксиальное оборудование сборочное оборудование
Format:	Buch
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=302071

Ähnliche Einträge