Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике, сборник научных трудов

Бібліографічні деталі
Співавтор:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Інші автори:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич (340)
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1981
Предмети:	Микроэлектроника > Производство > Метрологическое обеспечение электронная технология физические основы технологическое оборудование проектирование автоматизация роботы конвейерные системы узлы конструкции оптимизация математические модели робототехнические комплексы диффузионное оборудование эпитаксиальное оборудование сборочное оборудование
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=302071

Схожі ресурси