Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике, сборник научных трудов

Bibliographic Details
Corporate Author:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Other Authors:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич (340)
Published:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1981
Subjects:	электронная технология физические основы технологическое оборудование проектирование автоматизация роботы конвейерные системы узлы конструкции оптимизация математические модели робототехнические комплексы диффузионное оборудование эпитаксиальное оборудование сборочное оборудование
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=302071

Similar Items