|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
302071 |
| 005 |
20231102001450.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 82-22128
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\327266
|
| 090 |
|
|
|a 302071
|
| 100 |
|
|
|a 20150819d1981 km y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике
|e сборник научных трудов
|f Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) ; под ред. И. Г. Блинова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Изд-во МИЭТ
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 151 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 606 |
1 |
|
|a Микроэлектроника
|x Производство
|x Метрологическое обеспечение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\43813
|9 63255
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная технология
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a технологическое оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a автоматизация
|
| 610 |
1 |
|
|a роботы
|
| 610 |
1 |
|
|a конвейерные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a узлы
|
| 610 |
1 |
|
|a конструкции
|
| 610 |
1 |
|
|a оптимизация
|
| 610 |
1 |
|
|a математические модели
|
| 610 |
1 |
|
|a робототехнические комплексы
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионное оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a эпитаксиальное оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a сборочное оборудование
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|z rus
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Блинов
|b И. Г.
|g Иван Григорьевич
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
|c (1965-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19357
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150819
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190917
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
