Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов

Detalles Bibliográficos
Autor Corporativo:	Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ)
Otros Autores:	Блинов И. Г. Иван Григорьевич (редактор)
Lenguaje:	ruso
Publicado:	Москва, Изд-во МИЭТ, 1981
Materias:	Микроэлектроника > Производство > Метрологическое обеспечение электронная технология физические основы технологическое оборудование проектирование автоматизация роботы конвейерные системы узлы конструкции оптимизация математические модели робототехнические комплексы диффузионное оборудование эпитаксиальное оборудование сборочное оборудование
Formato:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=302071

Descripción
Descripción Física:	151 с. ил.

Ejemplares similares