Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ) & Блинов И. Г. Иван Григорьевич. (1981). Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1981.
Chicago Style (17th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Блинов И. Г. Иван Григорьевич. Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1981, 1981.
MLA (9th ed.) CitationМосковский государственный институт электронной техники (МИЭТ) and Блинов И. Г. Иван Григорьевич. Физические основы создания и совершенствования технологического оборудования в микроэлектронике: сборник научных трудов. Москва, Изд-во МИЭТ, 1981, 1981.