|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
299232 |
| 005 |
20231102001201.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\324384
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\324377
|
| 090 |
|
|
|a 299232
|
| 100 |
|
|
|a 20150626d1981 km y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a US
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Sputtering by particle. Bombardment I.
|e Physical Sputtering of Single-Element Solids
|f edited by R. Behrisch
|
| 210 |
|
|
|a New York
|c Springer-Verlag
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 281 p.
|c il.
|
| 225 |
1 |
|
|a Topics in applied physics
|v Vol. 47
|
| 320 |
|
|
|a Author Index: p. 265-274
|
| 320 |
|
|
|a Subject Index: p. 275-281
|
| 606 |
1 |
|
|a Твердые тела
|x Поверхностные явления
|x (физика твердого тела)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58668
|9 76436
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a прикладная физика
|
| 610 |
1 |
|
|a частицы
|
| 610 |
1 |
|
|a бомбардировка
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a коэффициенты
|
| 610 |
1 |
|
|a измерение
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллические твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a поликристаллические тела
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a эксперименты
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a английский язык
|
| 675 |
|
|
|a 539.211
|v 4
|
| 702 |
|
1 |
|a Behrisch
|b R.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150626
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190923
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
