Рост пленок: учебное пособие

Рост пленок: учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Corporate Author:	Воронежский политехнический институт (ВПИ)
Other Authors:	Трусов Л. И. Лев Ильич
Language:	Russian
Published:	Воронеж, [Б. и.], 1982
Subjects:	Пленки тонкие > Получение металлы полупроводники диэлектрики испарение конденсация ионное распыление химические методы тонкопленочные технологии подложки поверхности подготовка структура контроль рост учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294439

Similar Items

Получение тонких пленок распылением полимеров в вакууме
by: Красовский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1989)

Т. 1; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Структурно-фазовая однородность субмикронных пленок нитрида титана и способы ее повышения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
by: Хамдохов А. З. Алим Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2017)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец.05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Фазообразование и кинетика фазовых превращений в тонких пленках А I-B VI
by: Шафизаде Р. Б.
Published: (Баку, Элм, 1983)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Т. 2; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов кремния и d-металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Бричкова В. Ю. Виктория Юрьевна
Published: (Томск, 2011)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Исследование некоторых ионно - плазменных методов получения диэлектрических пленок: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05299
by: Данилина Т. И.
Published: (Томск, 1970)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Materials science and technologies of modern advanced materials : practical course
by: Shevchenko I. M.
Published: (Ставрополь, СКФУ, 2022)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Ч. 1; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (1977)

Ч. 2; Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (1977)

Технология прроизводства интегральных микросхем: учебное пособие для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Энергия, 1977)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Томск, 2016)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки: материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

Тонкоплёночные наноматериалы на основе двойных оксидов тантала (V) и лантана (III); Современные техника и технологии; Т. 3
by: Лисеенко О. В.
Published: (2010)

Физическая электроника. Развитие технических наук в республике и использование их результатов: тезисы докладов конференции, Каунас, 30 января - 4 февраля 1978 г.
Published: (Каунас, Изд-во КПИ, 1978)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Шандра З. А.
Published: (Томск, [Б. и.], 1972)

Получение тонкопленочных элементов микросхем
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1977)

Thin Films and Multilayers for Electronics: study aid
Published: (Tomsk, TPU Publishing House, 2009)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Процессы роста полупроводниковых кристаллов и пленок
Published: (Новосибирск, Наука, 1988)

Формирование графитоподобных наноструктур в углеродных пленках, полученных электродуговым методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
by: Хамдохов Э. З. Эльдар Залимович
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2018)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
by: Панфилов Ю. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
by: Васильев В. Ю.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

Основы пленочного полупроводникового материаловедения
by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Published: (Москва, Энергия, 1973)