Рост пленок, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Corporate Author:	Воронежский политехнический институт (ВПИ)
Other Authors:	Трусов Л. И. Лев Ильич
Published:	Воронеж, [Б. и.], 1982
Subjects:	металлы полупроводники диэлектрики испарение конденсация ионное распыление химические методы тонкопленочные технологии подложки поверхности подготовка структура контроль рост учебные пособия
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294439

Similar Items