|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
294439 |
| 005 |
20231102000710.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\319498
|
| 090 |
|
|
|a 294439
|
| 100 |
|
|
|a 20150513d1982 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Рост пленок
|e учебное пособие
|f В. М. Иевлев, Л. И. Трусов
|g Воронежский политехнический институт (ВПИ)
|
| 210 |
|
|
|a Воронеж
|c [Б. и.]
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 98 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 93-98
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49230
|9 68031
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a испарение
|
| 610 |
1 |
|
|a конденсация
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a химические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a подготовка
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a контроль
|
| 610 |
1 |
|
|a рост
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 539.23(075.8)
|z rus
|v 4
|
| 700 |
|
1 |
|a Иевлев
|b В. М.
|g Валентин Михайлович
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Трусов
|b Л. И.
|g Лев Ильич
|4 070
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Воронежский политехнический институт (ВПИ)
|c (1962-1992)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\314
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150513
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20190124
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
