Рост пленок, учебное пособие

Библиографические подробности
Главный автор:	Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Автор-организация:	Воронежский политехнический институт (ВПИ)
Другие авторы:	Трусов Л. И. Лев Ильич
Опубликовано:	Воронеж, [Б. и.], 1982
Предметы:	металлы полупроводники диэлектрики испарение конденсация ионное распыление химические методы тонкопленочные технологии подложки поверхности подготовка структура контроль рост учебные пособия
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294439

Описание
Объем:	98 с. ил.

Схожие документы