Вып. 5

Вып. 5

Manylion Llyfryddiaeth
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 5.— , 1975-1986.— 0320-4502
Iaith:	Rwseg
Cyhoeddwyd:	1979
Pynciau:	дислокации примеси диффузия упругие напряжения легированные пленки осаждение воспроизводимость мышьяк кремний слои электрофизические свойства термообработка имплантация ионно-лучевая обработка
Fformat:	Llyfr
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294218

Eitemau Tebyg

Вып. 6
Cyhoeddwyd: (1982)

Вып. 4
Cyhoeddwyd: (1978)

Вып. 3
Cyhoeddwyd: (1978)

Вып. 7
Cyhoeddwyd: (1984)

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
gan: Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Cyhoeddwyd: (Москва, Радио и связь, 1988)

Вып. 8
Cyhoeddwyd: (1986)

Технология изготовления интегральных микросхем конспект лекций
gan: Скачков П. С. Павел Сергеевич
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МГИ, 1984)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
gan: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Cyhoeddwyd: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Автоматические приборы и оборудование в микроэлектронике сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1981)

Современные тенденции развития САПР интегральных микросхем сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1984)

Физические явления в технологии микроэлектроники сборник научных трудов
Cyhoeddwyd: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Кн. 1
Cyhoeddwyd: (1986)

Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
gan: Бондарь О. Б. Олег Борисович
Cyhoeddwyd: (Москва, Машиностроение-1, 2004)

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
Cyhoeddwyd: (Ленинград, Наука, 1972)

Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия
gan: Ардышев М. В.
Cyhoeddwyd: (2002)

Ионная имплантация пер. с нем.
gan: Риссел Х.
Cyhoeddwyd: (Москва, Наука, 1983)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
gan: Королев М. А. Михаил Александрович
Cyhoeddwyd: (2009)

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
gan: Ардышев М. В.
Cyhoeddwyd: (2002)

Т. 5 : Ионно-пучковая технология
Cyhoeddwyd: (1989)

Исследование влияния технологических параметров системы Ga-AsCl3-H2 - лигатура на рост и свойства эпитаксиальных структур GaAs для СВЧ-приборов диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.12.11
gan: Чижевич Л. А.
Cyhoeddwyd: (Томск, [Б. и.], 1974)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан
Cyhoeddwyd: (2004)

Высокоинтенсивная ионная имплантация - метод формирования мелкодисперсных интерметаллидов в поверхностных слоях металлов
Cyhoeddwyd: (2004)

High Intensity Implantation of Aluminium Ions into Titanium
Cyhoeddwyd: (2004)

Высокоинтенсивная низкоэнергетическая имплантация ионов азота
gan: Белый А. В.
Cyhoeddwyd: (2002)

Ионная имплантация
gan: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Cyhoeddwyd: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Modification of stainless steel based on synergistic of low-energy high-intensity ion implantation and high-current electron beam impact on the surface layer
Cyhoeddwyd: (2021)

Ионно-электронно-плазменная модификация системы "покрытие (TiZrCu)\подложка (Al-(22-24)%Si)"
Cyhoeddwyd: (2017)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
gan: Лютович А. С.
Cyhoeddwyd: (Ташкент, Фан, 1982)

Разработка технологии улучшения триботехнических свойств титановых сплавов методом ионной имплантации диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Спец. 05.03.01.
gan: Байбарацкая М. Ю. Марина Юрьевна
Cyhoeddwyd: (Омск, 1992)

Структура компонентов БИС
gan: Эдельман Ф. Л. Феликс Леонидович
Cyhoeddwyd: (Новосибирск, Наука, 1980)

Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации
gan: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Cyhoeddwyd: (2015)

Structural-Phase State and Mechanical Properties of the Surface Layer of the Copper Modified by Zirconium Ions
Cyhoeddwyd: (2019)

Инженерия поверхностей конструкционных материалов с использованием плазменных и пучковых технологий
gan: Белый А. В.
Cyhoeddwyd: (Минск, Белорусская наука, 2017)

Electron-ion-plasma modification of the structure and properties of commercial steels
Cyhoeddwyd: (2017)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
gan: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Cyhoeddwyd: (Томск, 2010)

Исследование закономерностей накопления и диффузии титана в кремнии при импульсно-периодической имплантации высокоинтенсивным пучком ионов
Cyhoeddwyd: (2024)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
gan: Данилин Б. С. Борис Степанович
Cyhoeddwyd: (Москва, Энергия, 1972)

Оборудование и методы импульсно-периодической ионной и плазменной обработки материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук спец. 01.04.20
gan: Степанов И. Б. Игорь Борисович
Cyhoeddwyd: (Томск, Изд-во ТПУ, 2010)

The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process
gan: Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Cyhoeddwyd: (2016)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Cyhoeddwyd: (2007)