Вып. 5

ग्रंथसूची विवरण
Parent link:	Активируемые процессы технологии микроэлектроники: междуведомственный тематический научный сборник/ Таганрогский радиотехнический институт (ТРТИ). Вып. 5.— , 1975-1986.— 0320-4502
भाषा:	रूसी
प्रकाशित:	1979
विषय:	Микроэлектронные схемы > Производство дислокации примеси диффузия упругие напряжения легированные пленки осаждение воспроизводимость мышьяк кремний слои электрофизические свойства термообработка имплантация ионно-лучевая обработка
स्वरूप:	पुस्तक
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=294218

समान संसाधन